Hvaða lofttegundir er hægt að nota í plasma auknum PECVD rör ofnum?

Viðbrögð lofttegunda:
Silane (SIH ₄): Notað til að setja sílikon - byggða þunnar kvikmyndir, svo sem myndlaust kísil, örkristallað kísil, kísilnítríð (Si ∝ n ₄) og kísiloxíð (Sio ₂).
Ammoníakgas (NH3): Oft notað í tengslum við silan til að setja kísilnítríð kvikmyndir og veita köfnunarefnisheimild.
Köfnunarefni (n ₂): Hægt að nota sem burðargas eða þynningargas og getur einnig tekið þátt í útfellingarviðbrögðum þunnra filma eins og kísilnítríðs.
Kvígisoxíð (N ₂ O) eða súrefni (O ₂): Notað til að setja kísiloxíðfilmur og veita súrefnisuppsprettu.
Metan (CH ₄) eða önnur kolvetni: notuð til að setja kolefnisbundnar kvikmyndir, svo sem Diamond - eins og kolefni (DLC) kvikmyndir.

Óvirk gas (burðargas/þynningargas):
Argon (AR): Algengt er notað sem burðargas eða þynningargas til að hjálpa til við að koma á stöðugleika í plasma og stjórna hlutþrýstingi viðbragðsgassins.
Helium (HE): Það er einnig hægt að nota það sem burðargas og hefur mikla hitaleiðni, sem hjálpar til við að stjórna hvarfhitastiginu.

Læknisgas:
Fosfín (ph ∝): notað fyrir n - tegund dóps til að undirbúa n - tegund hálfleiðara þunnar kvikmyndir.
Borane (B ₂ H ₆): Notað fyrir P - tegund lyfjamisnotkun og undirbúning p - tegundar hálfleiðara þunnar kvikmyndir.
Boron trifluoride (BF ∝): Einnig er hægt að nota sem AP - gerð lyfjagjafa.

Aðrar sérstakar lofttegundir:
Vetni (H ₂): Algengt er notað við minnkunarviðbrögð eða í samsettri meðferð með silan til að stjórna útfellingarhraða og eiginleikum þunnra filma.
Brennisteins hexafluoride (SF ₆): Notað í ákveðnum sérstökum ferlum til ætingar eða yfirborðsmeðferðar.

Þættir sem hafa áhrif á gasval:
Kvikmyndategund: Veldu samsvarandi viðbragðsgas byggt á nauðsynlegu afhentri kvikmyndaefni (svo sem Sio ₂, Si ∝ n ₄, DLC osfrv.).
Lyfjakröfur: Til að undirbúa p - gerð eða n - gerð hálfleiðara þunnar kvikmyndir, þarf að kynna samsvarandi lyfjagaslof.
Aðferðarskilyrði: Breytur eins og gasflæði, hlutfall og þrýstingur geta haft áhrif á útfellingarhraða, gæði og afköst þunnra kvikmynda.
Öryggi: Ákveðnar lofttegundir, svo sem silan og fosfín, eru eldfim, sprengiefni eða eitruð og þurfa strangt fylgi við öryggisaðgerðir.

Hagnýtt forrit dæmi:
Útfelling kísilnítríð þunnfilmu: Venjulega er silan (SIH ₄) og ammoníak (NH3) kynnt og stundum er köfnunarefni (n ₂) eða argon (AR) bætt við sem burðargas.
Útfelling kísiloxíðs þunnra filma: Venjulega eru silan (SIH ₄) og nituroxíð (N ₂ O) eða súrefni (O ₂) kynnt.
Útfelling DLC ​​filmu: Venjulega er metan (CH ₄) og vetni (H ₂) kynnt og stundum er argon (AR) bætt við sem burðargas.