Hver eru notkun PTFE varmaskiptara í hálfleiðara þvottahreinsun (RCA Clean)?

Hin hefðbundna diskahreinsunarröð, RCA clean, notar lausnir, SC1 og SC2, við háan hita til að útrýma málmmengun og agnum. Varmaskiptirnir sem stjórna þessum baðhitastigum verða að hafa enga auka málmmengun eða allt hreinsunarstarfið verður fyrir áhrifum.

RCA hreinsunaraðferð
RCA-hreinsunarferlið er mikilvægt stig í framleiðslu á hálfleiðaraplötum, sem felur í sér tvær hreinsilausnir, SC1 (ammoníumhýdroxíð, vetnisperoxíð og vatn) og SC2 (saltsýra, vetnisperoxíð og vatn). Báðar lausnirnar virka við 70-80 gráður og hafa mismunandi hlutverk við að fjarlægja mengunarefni:

SC1 lausn: Oxandi lausn, aðallega notuð til að fjarlægja lífrænar mengunarefni og agnir. Háhitaumhverfið tryggir skilvirka hreinsun, niðurbrjótandi lífrænar leifar og agnir sem kunna að festast á yfirborðið.

SC2 Lausn: Þessi lausn er notuð til að fjarlægja málmjónir af yfirborði skúffunnar. Blandan af saltsýru og vetnisperoxíði veitir þá efnafræðilegu hvarfgirni sem nauðsynleg er til að leysa upp og fjarlægja málmóhreinindi úr skífunni og skilja eftir hreint yfirborð fyrir síðari vinnsluþrep.

Bæði SC1 og SC2 lausnir eru mjög ætandi og oxandi, þess vegna verða kerfin að vera nógu öflug til að þola þetta umhverfi og ekki mengast af varmaskiptum sem halda þeim heitum.

RCA hreinsun með PTFE varmaskiptum
Vegna mjög ætandi eðlis SC1 og SC2 lausna verða varmaskiptar sem notaðir eru í þessu forriti að vera úr flúorfjölliðum eins og PTFE eða PFA sem veita framúrskarandi efnaþol. Þessir skiptarar eru notaðir til að stjórna hitastigi lausnanna, halda þeim innan tilskilins rekstrarsviðs og viðhalda heilleika hreinsunarferlisins.

Ytri hringrásarlykkjur: PTFE eða PFA varmaskiptar eru notaðir innan ytri hringrásarlykkja til að hita eða kæla SC1 og SC2 lausnirnar eftir þörfum. Þessi lokaða-lykkjutækni tryggir stöðugt hitastig lausnar án þess að málmjónir berist í lausnina frá upphitunar-/kælingarferlinu.

Óvirkir eiginleikar: PTFE og PFA varmaskiptar eru algjörlega óvirkir, þess vegna skolast engar jónir út í lausnina jafnvel við greiningarmörk hálfleiðara framleiðsluumhverfis á trilljón hlutum. Þetta er mikilvægt til að tryggja heilleika oblátahreinsunarferlisins, þar sem málmmengun getur valdið töluverðu tapi á afrakstri tækisins.

Í háþróuðum hálfleiðurum þar sem mengunarfjárhæðir eru mældar í atómum á fersentimetra er þörf á jónalausum -varmaflutningslausnum. Aðeins flúorfjölliða skiptarar geta náð þessum ströngu stöðlum og tryggt að RCA hreinsunarferlið sé gert án þess að bæta nýjum óhreinindum við yfirborðið.

Efniseinkunn
Aðeins ætti að nota háhreinleika PTFE eða PFA við byggingu varmaskipta til notkunar í hálfleiðara. Þessi efni standast ýtrustu kröfur með tilliti til efnaþols og hreinleika. Engar agnir eða jónir berast út í hreinsiböðin. Slíkar flúorfjölliður sem ekki eru-hálfleiðara geta innihaldið óhreinindi eða mengunarefni sem geta skaðað hreinsunarferlið.

Niðurstaða
PTFE / PFA varmaskiptar eru mikilvægir fyrir RCA hreina ferlið til að tryggja stöðuga hitastýringu SC1 og SC2 lausna lausar við málmmengun. Þessir skiptarar stuðla strax að því að bæta afrakstur tækjanna og gæði framleiðsluniðurstöðu með því að tryggja hreinleika yfirborðs yfirborðsins. Þar sem hálfleiðaraiðnaðurinn heldur áfram að þróast í átt að háþróaðri tækni, er þörfin fyrir efni með hæsta hreinleika á öllum stigum framleiðslunnar, þar á meðal þvottahreinsun, grundvallarnauðsyn til að ná árangri.