Vacuum rafhúðun búnaður Optískir eiginleikar þunnra filma

Vacuum rafhúðun búnaður Optískir eiginleikar þunnra filma

Sjóneiginleikar þunnra filma, svo sem brotstuðuls, frásogs og leysisskemmdaþröskuldar, fer aðallega eftir örbyggingu filmulagsins. Filmuefni, leifar af gasþrýstingi og undirlagshiti geta allir haft áhrif á örbyggingu filmunnar. Ef uppgufunarútfelld atóm hafa litla hreyfanleika á yfirborði undirlagsins mun kvikmyndin innihalda örholur. Þegar filman verður fyrir röku lofti fyllast þessar svitaholur smám saman af vatnsgufu.

Tómarúmhúðunarbúnaður hækkar undirlagshitastig

Hefðbundin húðunarferli krefjast hækkaðs undirlagshitastigs (venjulega um 300 gráður); Hægt er að framkvæma fullkomnari tækni, eins og jónaðstoð (IAD), við stofuhita. IAD ferlið framleiðir ekki aðeins filmur með betri eðliseiginleika en hefðbundin húðunarferli, heldur er einnig hægt að nota það á undirlag úr plasti. Hin hefðbundna aðferð við þunnfilmuútfellingu hefur verið varmauppgufun, annaðhvort með viðnámshituðum uppgufunargjöfum eða með rafeindageislauppgufunargjöfum. Eiginleikar kvikmyndarinnar ráðast aðallega af orku útfelldu atómanna, sem eru aðeins um 0,1 eV í hefðbundinni uppgufun. IAD útfelling leiðir til beina útfellingar jónaðrar gufu og bætir virkjunarorku við vaxandi filmuna, venjulega af stærðargráðunni 50 eV. Jónagjafinn bætir filmueiginleika hefðbundinnar rafeindageislauppgufunar með því að beina geislanum frá jónabyssunni að undirlagsyfirborðinu og vaxandi kvikmyndinni.

Mótvægisráðstafanir til að bæta ör fyrir utan filmu tómarúm rafhúðununarbúnaðar:

(1) Styrkja rekstrarstaðla rekstraraðila.

(2) Gerðu lista yfir vinnumistök og hafðu eftirlit með rekstraraðilum til að forðast vinnumistök.

(iii) Bættu stillingarbil linsu

(iv) Bættu linsumeðferðaraðferðina

(v) Bæta staðsetningu áhöld og umbúðaefni.

(vi) Bæta úthljóðshreinsunarferlisbreytur

(vii) Styrkja forverkfræðiskoðun og forhúðunarskoðun.

www.superbheater.com