Vacuum coater kaþódísk bogatækni fyrir mjög háan útfellingarhraða

Vacuum coater kaþódísk bogatækni fyrir mjög háan útfellingarhraða

Bakskautsbogatækni tómarúmhúðunarvélarinnar er tækni sem notar ljósbogaútskrift í lofttæmiumhverfi til að gufa upp og jóna fast bakskautsmarkmiðið og fljúga síðan á yfirborð rafskauts undirlagsins til að setja kvikmynd í gegnum styrkingaráhrif plasma. . Vegna þessa hefur kaþódbogatækni afar háan útfellingarhraða.

Það er sett á yfirborð undirlagsins í lofttæmi sem inniheldur óvirkt gas eða hvarfgas. Jóngeislinn með mikla orku er mjög gagnlegur til að bæta bindikraft filmuundirlagsins og trufla súlulaga kristalbyggingu kvikmyndarinnar, sem getur einnig bætt kvikmyndaskipulagið til muna. Byggingar- og vélrænni eiginleikar. Sem stendur hafa ýmsir framleiðendur þunnfilmubúnaðar tekið upp ýmsar ráðstafanir til að draga úr myndun "dropa" með rannsóknum á filmumyndandi reglum og ferlum.

Meðal þeirra nota BAI1200 og RCS hringlaga plan bakskautsuppsprettutækni og geislunarhitunartækni, sem getur framkvæmt hraða framleiðslu á húðun. TiAlN sem er útbúið með þessu ferli getur aukið stöðugleika skurðbrúnar vinnsluverkfærsins og gert þurrskurð mögulega.

Tómarúmhúðunarvélin gerir sér grein fyrir samræmdri blöndun hvarfefna í langan tíma og stöðugan styrk

Í raunverulegu umsóknarferlinu, til að rannsaka og bæta greiningarbúnaðinn, með hliðsjón af því að hitastigið hefur áhrif á aðsog og frásogsvirkni síuefnisins, verður tækið sett í loftkælt herbergi. Raki hefur áhrif á rakaupptöku síuefna annars vegar og hefur áhrif á frásogsvirkni hvarfefna, sem krefst strangs eftirlits. Það er ákvarðað í samræmi við hvata mælirörið og tiltekinn hraða. Rennslishraði er í öfugu hlutfalli við kraftmikla verndartímann og styrkur hvarfefna er einnig í öfugu hlutfalli við kraftmikla verndartímann. Sveiflan mun einnig hafa áhrif á ákvörðun endapunktsins.

Til að standast kröfur verða ýmsar endurbætur gerðar af og til. Aðalatriðið er að E plús E29 hita- og rakaskynjarinn er notaður til að skipta um blauta og þurra rakamælirinn. Þotudælatæknin gerir sér grein fyrir samræmdri blöndun hvarfefnanna í langan tíma og styrkurinn er stöðugur við lægri hvarfefnaþrýstinginn.

www.superbheater.com