Vandamálið við ójafnvægi tómarúms silfurhúðun filmu

Vandamálið við ójafnvægi tómarúms silfurhúðun filmu

Reyndu fyrst að tryggja einsleitni og stefnusamkvæmni segulsviðsins til að mynda tiltölulega einsleitt staðbundið segulsvið.

Í öðru lagi er nauðsynlegt að tryggja einsleitni loftþrýstings upp og niður eins mikið og mögulegt er. Við hönnun lofttæmishólfsins ætti að hafa í huga uppsetningarstöðu lofttæmisdælunnar, loftinntaksaðferð vinnslugassins og skipulag vinnslugaspípunnar í hólfinu.

Í þriðja lagi, þar sem hvorki segulsviðið né loftþrýstingurinn geta verið algjörlega tilvalin, er hægt að bæta upp ójafnvægi segulsviðsins með ójafnvægi loftþrýstingsins, þannig að endanleg kvikmynd sé einsleit.

Í fjórða lagi er fjarlægðin milli miða og grunns einnig mikilvægur þáttur sem hefur áhrif á einsleitni sputtered húðunarfilmunnar.

Tómarúm silfurhúðun magnetron sputtering samræmd húðun

Einsleitni segulómsputtering húðunarfilmu er mikilvægur vísir, svo það er nauðsynlegt að rannsaka áhrifaþættina sem hafa áhrif á einsleitni segulómsputtering til að átta sig betur á samræmdu laginu með segulómsputtering. Einfaldlega sagt, segulsviðssputting er í hornrétta rafsegulsviðinu, lokaða segulsviðið bindur rafeindirnar til að gera spíralhreyfingu um markyfirborðið og meðan á hreyfingu stendur slær það stöðugt vinnugasið argon til að jóna mikinn fjölda argonjóna, og argon jónirnar eru undir virkni rafsviðsins. Flýttu sprengjuárásinni á skotmarkið, sprautaðu út frumeindajónunum (eða sameindunum) markhópnum og settu þær á undirlagið til að mynda þunna filmu. Þess vegna, til þess að ná einsleitri húðun, er nauðsynlegt að sprauta markatómjónunum (eða sameindunum) á einsleitan hátt, sem krefst þess að argonjónirnar sem sprengja skotmarkið séu skotnar á sama hátt. Þar sem argonjónum er hraðað til að sprengja skotmarkið undir áhrifum rafsviðs, þarf rafsviðið að vera einsleitt. Argonjónirnar eru upprunnar úr rafeindunum sem bundnar eru af lokaða segulsviðinu, sem rekast stöðugt á og myndast á hreyfingu, sem krefst einsleits segulsviðs og samræmdrar dreifingar argongass. Hins vegar, í raunverulegu segulómspúttunarbúnaðinum, eru þessir þættir erfiðir að vera algerlega einsleitir, svo það er nauðsynlegt að rannsaka áhrif ójafnvægis þeirra á einsleitni kvikmyndamyndunar. Reyndar eru einsleitni segulsviðsins og einsleitni vinnugassins mikilvægustu þættirnir sem hafa áhrif á einsleitni filmumyndunarinnar. Þar sem segulsviðið er stórt er filman þykk, en filman er þunn og stefna segulsviðsins er einnig mikilvægur þáttur sem hefur áhrif á einsleitni. Hvað varðar loftþrýsting, við ákveðnar loftþrýstingsaðstæður, er filman þykkari á þeim stað þar sem loftþrýstingurinn er hár, og filman er þvert á móti þynnri.

www.superbheater.com