Líkurnar á að setja Al filmu á undirlag lofttæmishúðunar eru jafnar

Líkurnar á að setja Al filmu á undirlag lofttæmishúðunar eru jafnar

Uppgufun rafeindageisla á lofttæmihúðunarvél er notuð, plánetukerfi snýst jafnt þegar kvikmyndin er lögð og líkurnar á hverju undirlagi þegar Al filmu er sett eru jafnar; fókus plánetukerfisins er á uppgufunaruppsprettu deiglunnar og útfellingarhraði hvers undirlags er undir ákveðnu lofttæmi. næstum jafnt. Með því að nota lofttæmihúðunarvélina magnetron sputtering húðunaraðferð, þar sem hægt er að stjórna útfellingarstraumi og markspennu, það er hægt að stilla og stjórna sputtering kraftinum, stjórnanleiki og endurtekningarnleiki filmuþykktar er góður og hægt er að nota hann á stærri fleti. Filma með samræmdri þykkt fékkst.

Þykkt Al filmu tómarúmhúðunarvélarinnar mun hafa bein áhrif á aðra eiginleika Al filmunnar

Það er mjög mikilvægt að hafa strangt eftirlit með þykkt Al filmunnar, vegna þess að þykkt Al filmunnar hefur bein áhrif á aðra eiginleika Al filmunnar og hefur þar með áhrif á áreiðanleika hálfleiðara tækisins. Fyrir háþrýstingsaflrörið er vinnuspenna þess há og straumurinn er mikill. Án ákveðinnar þykktar málmfilmunnar verður straumþéttleiki Al filmunnar á flatarmálseiningu of hár, sem auðvelt er að brenna. Fyrir almenn hálfleiðara tæki, ef Al lagið er of þunnt, er samfellan í filmunni léleg og hún hefur eyju eða möskva uppbyggingu, sem gerir það erfitt að tengja leiðslur, sem gerir það erfitt að tengja eða veikt tengja, og hefur þannig áhrif á afraksturinn; Al lagið Ef það er of þykkt sést munstrið ekki skýrt við ljósgreiningu, sem gerir tæringu erfiða og er hætt við kanttæringu og "tengingu" fyrirbæri.

www.superbheater.com