Vöxtur tómarúms silfurhúðunfilmu felur aðallega í sér þrjá grunnferla

Vöxtur tómarúms silfurhúðunfilmu felur aðallega í sér þrjá grunnferla

Þegar PECVD tækni er notuð til að undirbúa þunnfilmuefni, felur vöxtur þunnfilmu aðallega í sér eftirfarandi þrjá grunnferla: Í fyrsta lagi, í plasma sem ekki er í jafnvægi, gangast rafeindir og hvarfgjarnar lofttegundir undir frumhvörf, þannig að hvarfgjarnar lofttegundir eru sundrað til að mynda blöndu af jónum og hvarfgjarnum hópum; Í öðru lagi eru ýmsir virkir hópar dreifðir og fluttir til filmuvaxtaryfirborðsins og rörveggsins og aukahvörf milli hvarfefna eiga sér stað á sama tíma; loks aðsogast ýmis frumhvörf og aukahvarfsafurðir sem ná til vaxtaryfirborðsins og hafa samskipti sín á milli. Yfirborðsviðbrögð eiga sér stað, samfara endurlosun gasfasa sameinda.

Plasmabætt efnagufuútfelling fyrir tómarúmsilfurhúðun

Plasmabætt kemísk gufuútfelling (PECVD) er efnagufuútfelling (CVD) viðbrögð sem notar líkamlega virkni ljómaútskriftar til að virkja agnir. Þetta er þunnfilmuútfellingartækni sem samþættir plasmaglóaútskrift og CVD. Ferlshitastig PECVD útfellingar kísilnítríðs þarf aðeins að vera 300-400 gráður, svo kísilnítríð mun ekki eiga í vandræðum með bilun í tækinu vegna of hás hitastigs. Að auki getur PECVD aðferðin einnig undirbúið kvikmyndir með mismunandi streituástandi með því að breyta útfellingarbreytum til að mæta mismunandi þörfum.

Tómarúm silfurhúðuð húðun með lágan núningsstuðul

Lág núningsstuðull húðun inniheldur aðallega mólýbden-undirstaða húðun (mólýbden tvísúlfíð) og kolefni-undirstaða húðun (demantur, demantur-líkt kolefni, kolefni-nitur húðun, osfrv.), og núningsstuðullinn getur náð undir 0. 1.

Harðhúð yfir 40GPa lofttæmi silfurhúðun

Harða húðunin yfir 40GPa inniheldur aðallega:

1. Demantshúð (hörka er 50-100GPa, tengist kristalstefnu)

2. Kúbískt bórnítríð (e-BN) húðun (hörku er 50-80GPa)

3. Demantslík húðun (DLC, hörku getur verið breytileg á breitt bili 10GPa-60GPa vegna mismunandi ferla)

4. Kolefnisniturhúðun (CNx, hörku allt að 15GPa-50GPa)

5. Nanó-samsett húðun og nanó-marglaga húðun (TiN/NbN nanó-marglaga hörku er 51GPa, TiYN/VN nanólaga ​​hörku er allt að 78GPa)

www.superbheater.com