Skynjari miniaturization og flís tækni

Ör-rafsegulkerfi (MEMS) er örkerfi eða tæki sem samþættir ör-vélar, örskynjara, örvirkni, stjórnrásir, merki vinnslu, samskipti, tengi, aflgjafa osfrv.

MEMS tækni felur í sér: kísilmíkrómat tækni, djúp viðbrögð jóns ets, LIGA tækni, sameindasamsetningartækni, magnmíkrómati, yfirborðsmíkróma, leysir míkrómats og örvaka tækni.

Silicon míkrómats tækni er almenn tækni MEMS. Það er nákvæmni þrívíddar vinnslutækni. Það er tækni til að þróa skynjara, örstýringar, örstýringar og ör-vélræn kerfi. Það hefur verið notað með góðum árangri til að framleiða ýmsa örskynjara og fjölvirkan viðkvæma frumefni. Svo sem örkvía rafrýmd skynjarar, ör-sílikon massastreymisskynjarar, kraftmiklir skynjarar og örskynjarar fyrir geimferðir, bifreiðarþrýstingur og hröðunarskynjarar, umhverfisvernd ör-efnafræðilegir skynjarar osfrv.

Sameiningartækni skynjara fylkinga og fjölskynjunarstika samsetningar

Sameining vísar til samþættingar margra skynjunaraðgerða við gagnavinnslu, geymslu, tvíhliða samskipti o.s.frv., Svo sem þrýsting, truflanir, hitastig þriggja breytilegra skynjara; Loftþrýstingur, vindkraftur, hitastig, rakastig fjögurra breytileg skynjari; Micro Silicon Composite stofnþrýstingskynjari og fylkisskynjari o.s.frv. Notaðu allt samþættingartækni. Sameiningarferli og fjölbreytileg samsett skynjari smíði samþætt framleiðsluferli, svo sem þrýstingur, truflanir, hitastig þriggja breytilegs skynjara, loftþrýstingur, vindkraftur, hitastig, rakastig fjögurra breytileg skynjari, ör kísill samsettur stofnþrýstingsskynjari, fylkisskynjari.

Það eru tvenns konar samþætting skynjara: Ein er að byggja margar skynjaraeiningar á flís í gegnum örbúnað tækni til að mynda línulegan skynjara (svo sem CCD myndskynjara); Hitt er að búa til viðkvæma hluti með mismunandi aðgerðir á sama kísilflís til að búa til samþættan fjölvirkan skynjara með mikla samþættingu, smæð og auðvelda bætur og leiðréttingu.