Hvernig á að velja CVD gufuuppfellingarofn fyrir tilraunir?

1, skýra tilraunakröfur
Gerð notkunar: Ákvarðið sérstaka notkun CVD ofni, svo sem að rækta þunnar kvikmyndir, mynda nanóefni eða undirbúa húðun. Mismunandi forrit geta krafist mismunandi gerða af CVD ofna, svo sem lágu - þrýsting CVD, plasma aukin efna gufuútfelling (PECVD) osfrv.
Efnisgerð: Veldu viðeigandi CVD ofn byggð á eiginleikum og eiginleikum nauðsynlegs efnis. Til dæmis geta lífræn efni krafist lágs - hitastigs CVD, en ólífræn efni geta krafist mikils - hitastigs CVD.
Vinnuhitastig: Ákvarðið nauðsynlegt vinnuhitastig fyrir CVD ferli og veldu ofn sem getur uppfyllt þessa kröfu.

2, meta árangur búnaðar
Ofnsrörefni:
Kvarsofn: Hentar fyrir háan hita og ætandi umhverfi.
Málmofn: Hentar fyrir umhverfi sem krefst hærra tómarúmstigs.
Gangyu ofn rör: Hentar fyrir hærra hitastig, tæringarþol og oxunarþol.

Hitastýring:
Hitastig og nákvæmni: Gakktu úr skugga um að ofninn geti veitt hitastigssvið og nákvæmni sem þarf fyrir tilraunina.
Hitastig einsleitni: Metið einsleitni hitastigsdreifingar inni í ofninum til að koma í veg fyrir frávik tilrauna niðurstaðna af völdum ójafnrar upphitunar tilraunasýnisins.

Gasstýringarkerfi:
Gasgerð og hreinleiki: Ákvarðið gerð og hreinleika kröfur viðbragðsgassins sem á að nota.
Gasflæðishraði og hlutfall stjórnunar: Veldu ofn sem getur stjórnað nákvæmlega gasflæðishraða og hlutfalli til að tryggja nákvæmni og stöðugleika tilraunabreytna.

Tómarúmskerfi:
Tómarúmskröfur: Veldu viðeigandi tómarúmskerfi byggt á nauðsynlegu tómarúmstigi og hreinlæti fyrir tilraunina.
Tómarúmdælu gerð og dæluhraði: Metið afköst tómarúmsdælu til að tryggja að hægt sé að ná nauðsynlegu tómarúmstigi.
Stærð ofnholsins: Veldu viðeigandi ofniholastærð og rúmmál miðað við stærð og magn unnar sýnanna, tryggðu að ofnholið sé nógu stórt til að koma til móts við sýnin sem á að vinna og viðhalda jöfnu útfellingu sýnanna.

3, íhugaðu áreiðanleika og viðhald
Búnaður gæði: Veldu framleiðendur með gott orðstír til að tryggja gæði og áreiðanleika búnaðarins.
Eftir söluþjónustu: Skilja birgirinn eftir - söluþjónustustefnu, þ.mt ábyrgðartímabil, viðhaldsþjónustu og tæknilega aðstoð. Þetta mun hjálpa til við að leysa hugsanleg mál sem geta komið upp við notkun tækisins.
Viðhaldskostnaður: Hugleiddu viðhaldskostnað búnaðarins, þ.mt kostnaður við að skipta um viðkvæma hluta, viðgerðarkostnað osfrv. Að velja búnað með lægri viðhaldskostnað getur dregið úr tilraunakostnaði.

4, vísa til umsagnar notenda og endurgjöf á markaði
Mat notenda: Athugaðu mat notandans á völdum tækjum til að skilja raunveruleg notkunaráhrif og núverandi vandamál tækisins. Þetta hjálpar til við að hafa ítarlegri skilning á frammistöðu og gæðum búnaðarins.
Endurgjöf á markaði: Skilja verð, afköst og endurgjöf notenda á svipuðum tækjum á markaðnum til að taka upplýstari ákvarðanir.

5, önnur sjónarmið
Búnaðarstærð og fótspor: Veldu viðeigandi búnaðarstærð og fótspor miðað við rýmisstærð og skipulag rannsóknarstofu eða verksmiðju.
Orkunotkun: Miðað við orkunotkun CVD -ofna skaltu velja búnað með mikla orkunýtingu, orkusparnað og umhverfisvernd til að draga úr framleiðslukostnaði og uppfylla umhverfisþörf.
Öryggi: Gakktu úr skugga um að ofninn hafi yfirgripsmiklar öryggisráðstafanir, svo sem ofhitnun verndar, kraft - gegn vernd osfrv., Til að koma í veg fyrir slys meðan á tilraunaferlinu stendur.