Hvernig eru nákvæmnishitunarplötur notaðar við framleiðslu á flatskjáum?

Neðst á stórum sjónvarpsskjá er glerrúða álíka stór og king--size rúm. Háþróaðar framleiðslulínur í kynslóð 10.5 og eldri höndla mun stærra undirlag, næstum á stærð við bílskúrshurð. Upphitunarplöturnar sem standa undir þessum viðkvæmu, risastóru blöðum verða að vera flatar, en flatari en næstum allir byggðir fletir í dæmigerðu iðnaðarumhverfi, en halda hitastigi einsleitni innan brota úr gráðu yfir nokkra fermetra. Þetta tilgreinir krefjandi lén fyrir framleiðslukerfi fyrir núverandi upphitaða flatskjái.

Gríðarlegar kröfur um mælikvarða og nákvæmni fyrir flatskjáframleiðslu
Framleiðsla flatskjáa (FPD) byggir á vinnslu á ofur-þunnu gleri, grunni LCD, OLED og næstu-kynslóðar skjátækni. Þetta hvarfefni er vélrænt viðkvæmt og hitaviðkvæmt og þarfnast nokkurra þrepa af mikilli-nákvæmni hitauppstreymi.

Eiginleikar undirlags 2.
Dæmigert skjágler hefur:

Venjulega minna en 0,5 mm á þykkt

Stórir fletir Fermetrar

Mikil viðkvæmni og lítil viðnám gegn beinbrotum

Næmi fyrir miklum hitastigum

Jafnvel örlítið ó-jafnvægi í hitastigi yfir undirlaginu getur leitt til:

Væling

Tvíbrjótur streitu

Villur í röðun fljótandi kristallaganna

Örsprunga eða skelfilegt beinbrot

Sýna framleiðslu nákvæmni upphitunarplötur
Í FPD framleiðslu eru hitunarplötur notaðar sem burðarvirki og varmavinnslupallar. Þeir eru ábyrgir fyrir því að viðhalda ströngum hitastigsprófílum á lykilstigum, svo sem myndþolsherðingu, glæðingu og fljótandi kristaljöfnun.

FPD verksmiðjuplatan er heitt, hljóðlaust sjó af einstakri flatleika, vélrænan stöðugleika og hitauppstreymi fyrir undirlag sem þolir ekki röskun.

Varmaferli studd
Nákvæmar plötur eru notaðar til að:

Herðing og bakstur á photoresist

þunnfilmuglæðing

Fljótandi kristal jöfnunarlagsmeðferð

Hitafor-tengiskilyrðing

Stöðugleiki undirlags fyrir steinþrykk

Hvert ferli krefst nákvæmlega stýrðra hitastigssniða oft á bilinu 100-200 gráður eftir efniskerfinu.

Verkfræði fyrir flatneskju og varma einsleitni
Mikil flatneskju ásamt einsleitni við háan hita er einkennandi eiginleiki sýnis-hitunarplatna.

flatneskjuviðmið
Flatleiki er metinn í míkronum yfir marga metra fleti. Jafnvel smávægileg afbrigði geta valdið:

Ekki einsleitur snertiþrýstingur

Staðbundnar sveiflur í hitastigi

Áhrif sjónskekkju í fjöllaga stafla

Í þessu skyni eru plötubotnar framleiddar úr:

Álblöndur, álagslétt

Hágæða-byggingar úr stáli

Nokkrar háþróaðar hugmyndir um samsettar samlokuplötur

Til að forðast aflögun á löngum framleiðslulotum eru þessar mannvirki vélrænt stöðugar.

Hitajafnvægisstjórnun
Hitasamkvæmni er viðhaldið með:

Tugir til hundruð innbyggðra upphitunarsvæða

PID stýrislykkjur fyrir hvert svæði fyrir sig

Innbyggðar kælirásir fyrir hraðvirka hitasvörun

Hitaskynjunarkerfi fyrir rauntíma-, endurgjöf

Hvert svæði er kvarðað til að leiðrétta fyrir brúntap, hleðsluskilyrði og staðbundið varmaflæði yfir yfirborð plötunnar.

Byggingarhönnun og hitastækkunarstýring
Stórt -svæði þurfa að takast á við hitaþenslu á meðan þau styðja viðkvæmt undirlag.

Stöðugar vaxtaraðferðir
Ó-jöfn varmaþensla glerundirlagsins veldur vélrænni streitu. Til að koma í veg fyrir þetta eru plöturnar framleiddar og upphitunarhönnuninni komið þannig fyrir að þenjan er jöfn um allt yfirborðið.

Þetta er náð með því að:

Samhverf dreifing hitaeiningar

Efnisval og málmblandastýring

Hitahönnunarlíkön með endanlegum þáttum

Hægur rampur-upp og rampur-niður hitauppstreymi

Samþætting á tómarúmi-niður
Fullkomnustu upphitunarplöturnar eru með innbyggðum- lofttæmikerfi.

Virkni tómarúmskerfis
Vacuum hold-tilboð:

Örugg meðhöndlun á ofur-þunnum undirlagi úr gleri

Fjarlægðu loftgöt milli glers og plötunnar

Samkvæmari hitaleiðni

Koma í veg fyrir ör-slipp í vinnslu

Tómarúmdreifingarrásir eru samþættar undir yfirborði plötunnar til að veita jafnt sog yfir undirlag á stóru -svæði.

Erfiðleikar við framleiðslu á FPD hitaplötum
Þessar plötur eru gerðar af mjög sérhæfðri iðnaðarlist og það eru aðeins fá fyrirtæki í heiminum sem geta smíðað kerfi í þessum mælikvarða og nákvæmni.

Framleiðsluerfiðleikar
Helstu vandamál í framleiðslu eru:

Vinnsla á stórum fermetra flötum að míkron stigi flatneskju

Bjögun-laus innfelling þéttra hitasvæðaneta

Meðferð til að draga úr streitu til að forðast-langtíma röskun

Yfirborðsheilleiki undir nokkrum hitauppstreymi

Til að koma í veg fyrir slit og agnamyndun á meðan hitauppstreymi er viðhaldið, er almennt notað hörð húðun og fágað yfirborð.

Hreinherbergiskröfur og eftirlit með agnaferli Athugið
Flatskjáir eru framleiddir í mjög stýrðum hreinherbergisstillingum, venjulega flokki 100 eða betri, þar sem styrkur agna í lofti er mjög lágur.

Hreinar framleiðsluþvinganir
Við slíkar aðstæður ætti hitaplötur að:

Lágmarka myndun agna meðan á hitauppstreymi stendur

Niðurbrot á yfirborði og standast húðlosun

Stöðug vélræn frammistaða við lofttæmisnotkun

Komið í veg fyrir losun sem gæti mengað viðkvæm lög

Yfirborðsstöðugleiki er lykilhönnunarkrafa þar sem hvers kyns agnamengun getur leitt til pixelvillna eða taps á ávöxtun.

Hitanæmi & ferlistöðugleiki
Skjár undirlagið er svo þunnt og viðkvæmt að jafnvel litlar hitasveiflur geta valdið áberandi röskun.

Næmi fyrir halla
Hitamunur yfir plötunni sem er minna en ein gráðu getur:

Breyting á hegðun fljótandi kristalla

Breyttu ljósviðnámsviðbrögðum

Að beita vélrænni álagi á fjöllaga stafla

Þess vegna eru hitastýringarkerfi byggð með mjög hárri upplausn og hröðum endurgjöfarlykkjum.

Mikilvægi -svæðastýringararkitektúrs
Mörg sjálfstýrð hitasvæði bjóða upp á nákvæma staðbundna stjórn á hitastigi.

Kostir svæðisupphitunar
Fjölsvæðakerfi leyfa:

Hitajöfnun milli brún og miðju

Uppbót fyrir utanaðkomandi hitatap

Aðlögunarstýring á ýmsum stigum ferlisins

Staðbundin hitaleiðrétting fyrir álagsbreytileika

Slík arkitektúr er nauðsynleg til að ná fram einsleitum ferliskilyrðum yfir stórum undirlagi.

Samantekt
Nákvæmar hitaplötur sem notaðar eru í framleiðslu á flatskjáskjá eru eitt stærsta og nákvæmasta hitavinnslukerfi sem hefur verið hannað. Geta þeirra til að halda einstakri flatleika, byggingarstöðugleika á míkronstigi og mjög samræmda hitastýringu yfir margra-fermetra-metra undirlagi úr gleri er mikilvægt fyrir framleiðslu núverandi skjáa.

Hita nákvæmni sem fæst á þessum stóru pöllum við framleiðslu á flatskjáum á upphitunarplötum ákvarðar gæði hvers pixla á fullbúnum skjá. Öll sjónræn frammistaða skjás, frá ljósþolnu til að stilla fljótandi kristal, byrjar á vel stýrðu hitastigi.

Þar sem skjástærðir halda áfram að aukast og undirlagsþykktin heldur áfram að minnka, eru verkfræðilegar þarfir þessara kerfa sífellt að aukast. Skjárinn sem þú sérð í stofu myndast að lokum á upphituðu, flatu stigi af ótrúlegri nákvæmni þar sem vélrænn stöðugleiki og einsleitni hitastigs eru það sem ákvarða gæði hverrar myndar sem framleidd er.