Hvernig eru hitaplötur vottaðar til að uppfylla SEMI staðla fyrir hálfleiðaraframleiðslubúnað?

Framleiðsla á hálfleiðurum krefst mikils hreinleika og hreinleika efna. Hitaplöturnar sem notaðar eru í oblátavinnslubúnaði þurfa að uppfylla mjög ströng SEMI viðmið sem ganga miklu lengra en grunn rafmagnsöryggis til að fela í sér útgasun, agnaframleiðslu og efnissamhæfi.

Hvað eru SEMI staðlar
SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) eru alþjóðleg viðskiptasamtök sem búa til staðla til að tryggja gæði, öryggi og umhverfissamhæfi hálfleiðaraframleiðslubúnaðar. Þessar viðmiðanir eru nauðsynlegar fyrir hreinleika og frammistöðu sem þarf í hálfleiðaraframleiðslu. SEMI staðlar spanna breitt úrval viðfangsefna, þar á meðal öryggi búnaðar (S2), umhverfissamhæfi (S8) og efnis-sértækar kröfur. Þegar kemur að hitaplötum þýðir SEMI samræmi að þær uppfylla háa hreinleikastaðla sem krafist er fyrir hálfleiðaraframleiðslu.

SEMI staðlalykill fyrir hitaplötur
SEMI S2 - Öryggi búnaðar
SEMI S2 setur almennar öryggisreglur fyrir hálfleiðarabúnað til að tryggja að hitaplöturnar séu öruggar í notkun í framleiðsluumhverfi. . SEMI S2 samræmi er staðfest með mati þriðja-aðila sem er gert af löggiltum SEMI S2 úttektaraðila. Staðallinn nær yfir rafmagnsöryggi, vélrænni heilleika og almennan rekstur búnaðarins.

SEMI S3 - öryggisleiðbeiningar fyrir upphituð efnaböð
SEMI S3 snýr að öryggi búnaðar í upphituðum efnaböðum. Þessi staðall tryggir að hitaplötur, sem notaðar eru í efnavinnslukerfum, valdi ekki öryggisáhættu eða óhagkvæmni í rekstri. Það inniheldur einnig efni og uppbyggingu til að forðast mengun af heitu efnalausninni.

SEMI F57 - forskrift fyrir fjölliða efni í ofurhreinu vatni og fljótandi efnakerfum
SEMI F57 skilgreinir staðla fyrir fjölliða efni, þar með talið húðun á hitaplötum, í snertingu við ofurhreint vatn og fljótandi efni. Þessi staðall tryggir að efnin sem notuð eru í hálfleiðaraframleiðslubúnaði séu samhæf við ofur-hreinan vökva og hafi ekki áhrif á hreinleika ferlisins.

Vottunarstaðlar fyrir hitaplötur
Upphitunarplötur í hálfleiðarabúnaði þurfa að vera stranglega prófaðar samkvæmt SEMI stöðlum. Þessar prófanir tengjast efniseiginleikum, mengunarþol og efnasamhæfi:

Afgangur (ASTM E 595)
Útgasun er losun rokgjarnra efna frá efnum hitaplötunnar við hitun. Í hálfleiðaraframleiðslu getur mengun í hreinherbergisumhverfinu leitt til bilana í hálfleiðaratækjum, jafnvel vegna örlítið magns af útgasun. Hitaplötur úr efnum eins og PTFE og PFA húðun verða að vera prófuð með tilliti til losunar í samræmi við ASTM E595 kröfur til að tryggja að þær losi ekki hættuleg efnasambönd meðan á notkun stendur.

Agnir falla-af
Upphitunarplötur ættu að vera smíðaðar til að lágmarka myndun agna sem geta mengað oblátuna eða efnafræðilegar aðgerðir. Skoða þarf hvers kyns efni sem getur komist í snertingu við vinnsluvökva til að tryggja að það losi ekki agnir í það magn sem truflar viðkvæmt framleiðsluferli í hálfleiðurum.

Viðnám gegn vinnsluefna
Hitaplötur í hálfleiðaraframleiðslu verða oft fyrir fjandsamlegum efnum eins og sýrum, leysiefnum og ofurhreinu vatni. Þessi efni þurfa að vera tæringarþolin og ónæm fyrir niðurbroti við einstakar aðstæður í framleiðsluferli hálfleiðara. PTFE og PFA húðun er mikið notuð á hitunarplötur vegna yfirburðar efnaþols þeirra, sem tryggir að heilleika hitunaryfirborðsins sé viðhaldið án þess að setja inn mengunarefni.

SEMI staðlar fyrir upphitaðar plötur og klemmur Mikilvægir SEMI staðlar SEMI S2 - öryggi búnaðar (almennar öryggiskröfur)

SEMI S3 - öryggisleiðbeiningar fyrir efnabaðhitara

SEMI F57 - forskrift fyrir fjölliða efni í ofurhreinu vatni og fljótandi efnakerfum

ASTM E595 prófunaraðferð fyrir losun

SEMI F47 – Ráðlagðar aðferðir fyrir framleiðslubúnað fyrir hálfleiðara

Niðurstaða
SEMI er staðall um að hitaplötur sem notaðar eru í hálfleiðarabúnaði verða að uppfylla hreinleika- og öryggisstaðla hálfleiðaraiðnaðarins. Hitaplötur eru vottaðar lausar við málmmengun, lágmarka agnalosun og uppfylla reglugerðir um losun til að vernda framleiðsluferlið hálfleiðara. Veggsvið eru að þróa sína eigin sérstaka staðla til að uppfylla sérstakar tæknilegar þarfir þeirra. Samræmi við slíka staðla tryggir að búnaðurinn uppfyllir ströng, há-afköst hálfleiðaraiðnaðarins.