Uppgufun tómarúmhúðunarvélar er mikilvægt ferli

Uppgufun tómarúmhúðunarvélar er mikilvægt ferli

Eiginleikar filmuþykktarstýringar EI-5Z rafeindageislahúðunar eru greindir. Með hjálp tilraunaniðurstaðna og fræðilegra rannsókna var hagnýtari aðlögunarplata endurhönnuð og betri filmuafköst fengust: frávikið innan undirlagsins var innan ±3 prósenta og frávikið milli sömu lotu af hvarfefnum var á bilinu ±5 prósent Að innan. Uppfylla kröfur fjöldaframleiðslu.

Í hálfleiðaraframleiðslu er uppgufun mikilvægt ferli. Nákvæmni filmuþykktarstýringar er lykilvísir til að mæla uppgufunaráhrifin, sem hefur bein áhrif á síðari framleiðsluferlið og frammistöðu lokaafurðarinnar. Í fjöldaframleiðslu er annars vegar lögð áhersla á nákvæma mælingu á filmuþykkt og hins vegar einsleitni filmuþykktar, það er að segja breytingu á filmuþykkt með yfirborði undirlagsins og breytingu á filmuþykkt. milli undirlags á mismunandi stöðum á rekkanum— Það eru líka miklar kröfur.

Grunnreglan um uppgufun lofttæmishúðunarvélar

Uppgufun er elsta aðferðin við að setja þunnt filmur við lofttæmi. Með tímanum, í mörgum forritum, hefur það smám saman verið skipt út fyrir aðrar aðferðir, svo sem SPUTERRING eða PECVD, en alltaf þegar stórir fletir krefjast háhraða útfellingar á þunnum filmum, er uppgufunartækni enn mest notaða og hagkvæm lausnin.

Tæknilega meginreglan um uppgufun er mjög einföld. Efnið sem á að gufa upp (uppgufunargjafinn) er sett í tiltekið ílát (deiglu) í tilteknu hólfi þar sem uppgufunaraðgerðin verður framkvæmd og hitað upp í ákveðið hitastig við lofttæmi. Það eru tvær aðferðir til að hita upp gufað efni, með rafeindageisla sem spenntur er af framkölluðu segulsviði, eða með upphitun viðnámsvíra. Í þeim hluta uppgufunarhólfsins sem ekki er varinn af lokaranum verða uppgufuð efni sett á yfirborðið til að mynda þunna filmu.

www.superbheater.com