Útfelling þunnra filma á undirlag með sputtering aðferð lofttæmishúðunar

Útfelling þunnra filma á undirlag með sputtering aðferð lofttæmishúðunar

Sputtering er fyrirbæri þar sem hlaðnar agnir (venjulega jákvæðar jónir af óvirku gasi) eru notaðar til að sprengja yfirborð fasts efnis (hér eftir nefnt skotmark) og valda því að frumeindir (eða sameindir) á yfirborði skotmarksins sleppa frá það. Þetta fyrirbæri uppgötvaði Grove árið 1842 þegar hann rannsakaði í tilraunaskyni vandamálið með bakskautatæringu, þegar bakskautsefnið var flutt á vegg lofttæmisrörsins. Vacuum coater notaði þessa sputtering aðferð til að setja þunnar filmur á undirlagið var kynnt árið 1877.

Flokkun og umfang notkunar tómarúmhúðunarvélar

Venjulega er afgasunaraðferðin sem við notum bakstur og gasið og rakinn í vinnustykkinu er losað með upphitun. Fyrir húðun er vinnustykkið hitað á meðan dælt er. Ásamt gasinu í lofttæmishólfinu er því dælt út með lofttæmisdælunni.

Mismunandi afgasunarráðstafanir eru gerðar fyrir mismunandi vinnustykki til að stjórna losun gass og raka inni í vinnustykkinu á áhrifaríkan hátt og bæta stöðugleika og einsleitni lagsins. Flokkun og umfang notkunar tómarúmhúðunarvélar Tómahúðunarvél vísar aðallega til tegundar húðunar sem þarf að framkvæma undir háu lofttæmi, þar á meðal margar gerðir, þar á meðal lofttæmijónauppgufun, segulsviðasputtering, MBE sameindageislaepitaxy, PLD leysisputtingsútfellingu Og svo margar tegundir.

Líkurnar á tómarúmhúðunarvél fer eftir eðliseiginleikum vinnustykkisins sjálfs

Sumir vinnuhlutir hafa mikið gas, raka o.s.frv. Þessum efnum verður losað inn í lofttæmishólfið þegar búnaðurinn er hitinn, sem dregur úr lofttæmisgráðunni. Það sem meira er, sumar lofttegundir hafa eitraða íhluti sem skemma beint lofttæmishólfið. Innri vélræn uppbygging veldur því að búnaðurinn virkar ekki rétt. Að auki, meðan á húðunarferlinu stendur, vegna hitunar og stækkunar gassins í vinnustykkinu, er auðvelt að sprunga húðuðu filmuna. Auðvitað eru líkurnar á þessu ástandi háð eðlisfræðilegum eiginleikum vinnustykkisins sjálfs, svo sem plast sem auðvelt er að stækka, líkurnar eru tiltölulega miklar. Fyrir hörð efni eins og málm eru líkurnar tiltölulega litlar, en ekki er hægt að hunsa þær, þannig að afgasun vinnustykkisins er mjög nauðsynleg.

Tómarúmsástandið er umhverfið sem styður við rekstur tómarúmhúðunarvélarinnar, sérstaklega búnaðurinn sem krefst mikils lofttæmis. Venjulega þurfum við að ná háu lofttæmi. Hlutverk loftútdráttarkerfisins er ómissandi, en auk loftútdráttarkerfisins, í lofttæmihúðunarbúnaðinum Í vinnsluferlinu er annað atriði afgasun vinnustykkisins.

www.superbheater.com