Hreinsunaraðferð og tækisaðferð einkristallaðs sílikon ultrasonic hreinsivél

Hreinsunaraðferð og tækisaðferð einkristallaðs sílikon ultrasonic hreinsivél

Með þróun hálfleiðara efnistækni eru einnig settar fram hærri kröfur um forskrift og gæði kísilþráða. Markaðseftirspurn eftir kísilskífum með stórum þvermál sem henta fyrir örvinnslu mun aukast í auknum mæli. Hálfleiðari, flís, samþætt hringrás, hönnun, skipulag, flís, framleiðsla og vinnsla Eins og er eru háþróaðir skurðar-, slípun-, fægja- og hreinar umbúðir mikið notaðar í heiminum, sem gera verulegar framfarir í framleiðslutækni. Með tilkomu nýjustu nýjustu tækninnar hefur prufuframleiðsla og þróun á afkastamiklum flögum eins og SOI einnig komið inn á fjöldaframleiðslustigið. Til að bregðast við því hafa framleiðendur kísilskúffu einnig aukið fjárfestingu sína í búnaði fyrir 300 mm kísilskífur til að betrumbæta hönnunarreglur enn frekar. Með því að nota úthljóðshreinsitækni, meðan á hreinsunarferlinu stendur, sveiflast úthljóðstíðnin fram og til baka innan hæfilegs sviðs, sem knýr hreinsivökvann til að mynda lúmskur bakflæði, sem gerir kleift að fjarlægja óhreinindi vinnustykkisins fljótt af yfirborði vinnustykkisins á meðan það er afhýtt með úthljóði, sem bætir hreinsun skilvirkni.

Hreinsunaraðferð og tækjaaðferð

Settu þvegnar og malaðar sílikonplötur lárétt á girðingarlaga kvarsstangarramma fyrir ofan botn hreinsitanksins. Með því skilyrði að tryggja að það sé mikið magn af afjónuðu vatni og stöðugt flæði í hreinsitankinum, notaðu ultrasonic titrara sem staðsettur er neðst á hreinsitankinum til að þrífa. Úthljóðstíðnin er 40KHz. Snúðu möluðu kísilskífunum við á 5 mínútna fresti og haltu áfram að þvo þar til engin svört mengunarefni koma upp úr yfirborði möluðu kísilskífanna sem eru þvegnar yfir.

Botnveggur einkristallaða sílikonrammans í tækinu er girðingarlaga kvarsstangir og allur ramminn er studdur í hreinsitankinum með stuðningsfótum. Eftir lóðrétta og lárétta ofurþvott þessarar uppfinningar leysir það vandamálið við staðbundna erfiðleika við hreinsun vegna ójafnrar fjarlægðar milli kísilskífunnar og úthljóðgjafans og auðveldrar uppsöfnunar mengunarefna í neðri hluta yfirborðs kísilsins. obláta. Það útilokar einnig fyrirbærið að mjúka blómakarfan úr polytetrafluoro efni sem ber kísilskífuna getur tekið í sig og hindrað sendingu úthljóðsbylgjugjafans, sem veldur því að staðbundin svæði á yfirborði kísilskífunnar verða óhrein.

www.superbheater.com