Hægt er að sputtera hvaða efni sem er á lofttæmishúðunarvélinni

Hægt er að sputtera hvaða efni sem er á lofttæmishúðunarvélinni

Núverandi þéttleiki venjulegrar glóðarútskriftar er tengdur bakskautsefni og lögun, gasþrýstingi og svo framvegis. Það ætti að hafa það eins stöðugt og mögulegt er þegar sputtering. Hægt er að sputtera hvaða efni sem er, jafnvel efni með háu bræðslumarki er auðvelt að sputtera, en útvarpsbylgjur (RF) eða púls (púls) sputtering er nauðsynleg fyrir skotmörk sem ekki eru leiðandi; og vegna lélegrar leiðni er sputterkraftur og hraði tiltölulega mikill. Lágt. Málmsputterkraftur allt að 10W/cm2, ekki úr málmi<5W/cm2

Vacuum coater æting og húðun

Yfirborð efnisins er sprengt með hlaðnum ögnum með tugum rafeindavolta eða meiri hreyfiorku þannig að það sputter út í gasfasann sem hægt er að nota til ætingar og húðunar. Fjöldi atóma sem aðfallandi jón sprottnar er kallaður sputtering yield. Því hærra sem afraksturinn er, því hraðari er sputtering hraði. Cu, Au, Ag eru hæstir og Ti, Mo, Ta, W eru lægstir. Almennt 0.1-10 atóm/jón. Jónirnar geta myndað DC ljómaútskrift. Við lofttæmisstigið 10-1-10 Pa er háspenna beitt á milli pólanna tveggja til að mynda útblástur. Jákvæðu jónirnar munu sprengja neikvætt hlaðna skotmarkið og sprauta markið og húða þar til það er húðað. á hlutina.

Viðhald á lofttæmihúðunarvél

1. Nauðsynlegt er að prófa hlutfall gasþéttingar í tómarúmshólfinu til að tryggja að loftþéttleiki geti uppfyllt kröfurnar.

2. Athugaðu síðan stærð, lögun og loftlekahraða tómarúmshúðulekans, greindu lausnina og útfærðu hana.

3. Nauðsynlegt er að staðfesta hvort leki lofttæmishúðunar sé satt eða ósatt, því eftir að efnið er hitað mun ákveðið magn af gasi myndast í mismunandi mæli og stundum er það rangt fyrir gasið sem streymir inn frá úti. Þetta er falskur leki. Við Til að útiloka þetta.

4. Ákvarða lágmarks lekaskynjunarhraða og lekaskynjunarnæmi greiningartækisins, greina loftleka á stærsta sviðinu, forðast að einhver leki sé hunsaður og bættu nákvæmni lekaleitar.

5. Að lokum er nauðsynlegt að koma í veg fyrir að lofttæmihúðunarleka stíflist. Stundum vegna notkunarvillna er tómarúm rafhúðun að taka upp leka, og eitthvað ryk eða vökvi mun loka fyrir lekann, hugsa um að það sé enginn leki á þeim stað, en þegar þessi stífla gæti ekki lokað fyrir lekann vegna aukinn þrýstingsmunur innan og utan, en loftlekinn verður enn til staðar.

www.superbheater.com